JEL SCR3160CSN
晶圓搬運(yùn)機(jī)械手臂
3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂(采用閉環(huán)位置控制)
產(chǎn)品特點
在閉壞控制方式機(jī)械手臂加上多軸規(guī)格
適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標(biāo)潔凈機(jī)械手臂
在保持高性價比和高速傳輸特性的基礎(chǔ)上，解決了步進(jìn)電機(jī)常見的丟步問題，適用于2寸-12寸晶圓傳輸?shù)男滦蛦伪蹤C(jī)械手
電機(jī)配備絕對值編碼器，實時反饋位置信息，無需尋原點
無需更換電池的絕對值編碼器
可搬運(yùn)重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)3kg以下
機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長：100mm, 130mm, 160mm, 200mm
可根據(jù)設(shè)備布局選擇基座固定方式，或法蘭固定方式
可選伯努利方式手指（Option）
