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2 PORT EFEM_EFEM_芯鈦科半導體設備(上海)有限公司

2 PORT EFEM
EFEM
產品特點
12”標準機型，可兼容8”產品（通過Adapter）
采用雙臂擬似多軸功能機械手
材料符合RoHS規范，潔凈度最高可達ISO Class 2
多種傳感器等監測元件，實時檢測設備狀態
即時攝像監控，各種條碼、二維碼、字符碼識別，完整追蹤生產過程
提供客制化晶圓搬送需求
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